臨界點干燥設備內置智能程序，覆蓋從流體注入、壓力平衡到排氣的全過程一鍵啟動即可靜待結果所有數據均可無縫對接到您的生產執行系統(MES)，實現從晶圓到數據的可追溯性。
臨界點干燥設備是一種專門用于保護精細樣品表面結構的高端儀器，以下是關于它的詳細介紹：
工作原理
利用臨界點特性：基于介質在臨界點時表面張力為零的特性。當物質處于臨界狀態時，液態和氣態之間的界面消失，此時對樣品表面的破壞力大大降低。通常使用液態二氧化碳（CO?）作為干燥介質，因其臨界點為31℃和74 bar，適合生物等多領域應用。
避免傳統干燥損傷：傳統的空氣干燥過程中，水的表面張力會導致樣*從液相到氣相轉換時產生切向力，破壞納米或微觀結構；而臨界點干燥通過CO?置換水分并控制相變過程，有效保全了樣*原始形態。
系統組成與技術參數
核心部件：包括高壓反應室、二氧化碳存儲單元、溫控模塊及自動化控制系統。例如，Autosamdri-815型號提供不同尺寸的樣品室（如內徑1.25英寸×深度1.25英寸），容積可達25 ml，并配備聚四氟乙烯墊片以縮短處理時間。
性能指標：壓力釋放可達2000 psi，支持多種樣品規格（如5×10mm方片或圓形樣*），部分機型還帶有托盤適配特定尺寸的樣品。
應用領域
科學研究：廣泛應用于掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電鏡（TEM）、微機電系統（MEMS）等樣品制備，尤其適用于濕法刻蝕后的后處理。
跨學科適用性：涵蓋化工、材料科學、生物技術、制藥和醫學等領域，可用于處理植物組織、凝膠、石墨烯等敏感材料。
操作流程與優勢
自動化控制：現代設備多采用全自動化模式，通過PLC系統調節溫度、壓力及流體流速，確保臨界點的精確達成。例如，EMS850型整合了熱電冷卻/加熱功能，配合針型閥實現壓力微調，避免樣*變形。
安全設計：配備安全閥、破裂片保護裝置及溫度監測傳感器，保障高壓環境下的操作安全性。
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